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プロフィール

小椋 厚志
教育・研究テーマと関連するSDGsの達成目標に向けて取り組んでいます。

小椋 厚志

明治大学 理工学部 教授

研究分野
電子・電気材料工学(半導体ナノテクノロジー)
研究テーマ
半導体ナノテクノロジーについて(1.ナノ材料技術 2.ナノプロセス技術 3.ナノ評価技術)に関する研究
【キーワード】ナノテクノロジー、LSI、太陽電池
主な著書・論文
  • 「先端デバイス開発におけるSOI基板への期待」(結晶成長学会誌・2004年)
  • “Raman spectra of size-selected silicon clusters and comparison with calculated structures”, Nature Vol.366, pp.42-44/1993.

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