プロフィール

小椋 厚志

明治大学　理工学部 教授

研究分野

電子・電気材料工学（半導体ナノテクノロジー）

研究テーマ

半導体ナノテクノロジーについて（1．ナノ材料技術 2．ナノプロセス技術 3．ナノ評価技術）に関する研究
【キーワード】ナノテクノロジー、LSI、太陽電池

主な著書・論文

• 「先端デバイス開発におけるSOI基板への期待」（結晶成長学会誌・2004年）
• “Raman spectra of size-selected silicon clusters and comparison with calculated structures”， Nature Vol.366, pp.42-44/1993.

執筆記事

• 

  自分のエネルギーは自分でつくる、無給電自立型電力源

  2021.03.18

教育・研究テーマと関連するSDGs